在无尘车间装修过程中,管道是工程的一部分。无尘车间工程所采用的保温材料应符合《防火规范》的要求,满足洁净室的需要。也就是说,无尘车间的管道保温材料和胶粘剂应选用不燃材料或阻燃材料,不应选用易扬尘的材料(如玻璃纤维、短纤维矿棉等)。在下列情况下,必须使用不燃绝缘材料。
电子无尘车间投资越大,质量水平越高,至于电子产品参与的人络绎不绝。几年后,电子无尘车间内的电子产品尺寸可达到0.5微米左右,整体电路存储可达到更高的水平,因此,目前很多洁净室的部件都用在了微电子上,建设和运营的资金都非常高。
在整个集成电子无尘车间中,电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进,芯片尺寸越小。然而,电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%~2%,在电子无尘车间中会成为废品,因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
在决定无尘车间的设计之前,必须仔细考虑工厂的工作性质和气流条件。在粉尘排放量较大的无尘车间内,不要使用地面送风,以免进入其他需要清洁的工作场所。 无尘车间必须防止外界空气进入室内,室内必须保持正压才能达到目的。为了获得必要的室内压力,必须添加适当的新鲜空气。