精密机械零部件加工可以达到普通加工达不到的高精度，高精度也有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用精密掩膜作为中介物，来实现对外表层物质去除或添加的量做出极细微的控制。
一、精密零件切削加工
主要有精密车削、镜面磨削和研磨等。在精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。
二、精密零件加工
精密零件加工精度以纳米，甚至后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。